晶瑞股份29日披露，拟以1102.5万美元购买ASML光刻机设备。深交所30日对其下发关注函，要求说明，本次购买光刻机设备的具体用途、资金来源、相关设备的交付计划及预计交付时间；
本次拟购买光刻机设备型号等说明本次购买光刻机事项对公司光刻胶业务的具体影响以及开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目的原因、项目进展规划、项目推进存在的难点、预计对你公司2020年及未来期间财务状况和经营成果的具体影响。