荷兰ASML公司进入半导体检测设备领域，近日推出第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，适用于5nm及更先进工艺，使得速度提升600%。目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先进工艺的晶圆测试，已经交付给客户进行测试验证，未来ASML还会推出光束更多的测试设备以满足客户对先进工艺的要求。（芯智讯）