【华尔街见闻】- 财经时讯 | AI 实时互动
14:00 · 2020年2月28日 · 周五
泛林集团发布一项用于EUV光刻图形化的干膜光刻胶技术,这项与阿斯麦(ASML)和比利时微电子研究中心(imec)共同研发的技术将有助于提高EUV光刻的分辨率、生产率和良率
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